在半导体工业中，高纯氦气用作生长锗和硅晶体的保护气。某些混合气的底气、清洗、屏蔽和加压系统的惰性气体；气相色谱载气；在生产象钛和锫那样的活性金属时用作保护气；电弧焊接的保护气；在原子能反应堆中作为气体的冷却介质；充氦飞船，工业混合气体，如美国司令部正在研究用装有预警系统的飞船来探测低空飞行的导氮；美国度品管理局在美国南部边境地区设置了6只系留雷达的小型飞艇，用于探查度品的情况；美国边防巡逻站计划利用小型飞艇来探查不法人境的外国人。美国航空和航天局正在利用充氦气球来采集南极洲上空的空气样品，以研究臭氧层遭到破坏的各种原因。充填于在寒冷气候中使用的荧光灯管；充填中子和气体温度计；设备、管路等的氦质谱检漏；与氧气混台用于医用；在航天技术上，液氦加注系统的真空管路、贮槽、槽车以及火箭贮箱中的空气必须首先用高纯氮气置换，合格后用高纯氦气置换，分析合格后用高纯氦密封；还可用作火箭的挤压气源及姿态控制发动机用气源。
高纯氮气的应用
高纯氮气是生物、医用、化工、食品、环境分析及光电研究领域中不可或缺的气体。例如，我们熟知的GC，需要适用纯度为99.999%以上的高纯氮气做载气。氮气发生器作为一种智能化的、可持续稳定提供纯度得到保证的气源装置，在各实验室得到广泛地普及。
高纯氮气纯化装置采用变压吸附PSA分离纯化得到高纯度的氮气，纯度较高至99.999%。采用新HMI触屏控制技术，混合气体价格，实时显示运行状态、压力、流速和O2水平。自带节能模式，当您的分析仪器无用气需求时，混合气体，ALIZE自动进入Standby模式，延长使用寿命。
为了保证所制备的标准气体量值的准确性和可比性，应经常进行量值比对。比对的形式有方法比对、实验室之间的比对、国际比对等。
方法比对，常见的是用重量法制备的标准气体。为了防止称量时的流失，通常采用气相色谱法进行分析比对，以保证制备的标准气体的不确定度在合理的范围内。一般说来，重量法制备标准气体的不确定度优于1%，如果用气相色谱法分析，比对结果偏差优于2%，应逐级查找原因，以保证量值的准确性。实验室之间的比对、国际比对应由牵头实验室与二、三个提名比对实验室与二、三个提名比对实验室拟定详细的比对技术方案。
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